■レーザーと多彩色光との比較
レーザー式
反射したレーザー光に注意が必要
スキャン時の不安定波長が測定精度に影響
横方向と高さ精度が選択レンズで固定される
レイヤーごとのデータを測定後ステッチ合算
ステッチングが必要
最大7.9KHzのデータ収集速度
多彩色光式
白色光なので体に影響なし
均一で広い範囲の白色光スペクトル
スキャンに対応する横方向および高さ精度の組合せ
表面から反射する物理波長を直接測定
ステッチングなし
最大384KHzのデータ収集速度
