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リアルナノ3Dプロフィロメーター

高速連続スキャン 光学プロファイラー 実測（ステッチングなし） サンプル簡単準備

光学式なのに「垂直焦点」でナノスケールの「実測」を可能に。

表面特性評価用のリアルナノ3Dプロフィロメーター

ナノビア社のリアルナノ3D表面検査装置は、「粗さ測定」「テクスチャ分析」「段差・高さ評価」のための高精度の表面特性評価を提供します。高度なクロマティックライト技術を使用した非接触プロファイロメーターは、「コーティング」「半導体」「医療機器」「航空宇宙材料」など多岐にわたる再現性のある高解像度の表面計測を提供します。

400mm2×200mm/s

高速連続スキャン※ST500

◎400 x 400mmのX-Y軸移動で最高速度200mm/s。
◎384,000点/秒の比類なき超高速スキャン。

ナノビア社独自の新方式

多彩色光センサー測定

◎白色光を波長ごとに分割。
◎光の波長を利用して物理的な高さを正確に測定。

ステッチ不要の垂直焦点

ステッチングなしの実測データ

◎表面から反射する物理波長を直接測定。
◎データポイントを連続的に収集。

サンプル前処理なし

サンプル簡単準備

◎鮮明画像。
◎リフォーカスなし。

製品ラインナップ

JR25

ポータブル最小サイズ

JR50

ポータブルサイズ

JR100

超高速ポータブルサイズ

PS50

最先端コンパクト

ST400

モジュール式スタンダード

ST500

大面積&超高速測定

測定原理

白色光を波長ごとに分割。固有の測定スケールに反映。

「クロマティック共焦点技術」は、プロフィロメーター白色光と一連のスフェロクロマチックレンズを採用。スフェロクロマチックレンズは、白色光を固有の垂直焦点（表面からの垂直距離または高さ）を持つ個々の波長に分割、 すべての波長とそれに対応する高さは、センサーの高さ方向の測定スケールを構成します。

最も高い強度を持つ波長が分光器によって検出され、その波長に関連する高さが処理されます。フルラスタースキャンでは、この処理に高さマップを作成することができます。

▶歪み・湾曲も実測
▶鮮明画像

▶広い面積を高速で処理
▶サンプル前処理なし

▶リフォーカスなし
▶どんな色でも測定可

試験種類

◎歪み・湾曲も実測

■1秒でRa測定　■あらゆる素材や表面の複雑さ（3D or 2D）
■自動車用粗さ仕上げ基準

規格準拠

ISO 25178・ISO 4287・ISO 13565 ・ASME B46.1 ・GB/T・DIN・JIS・NF・BSI・UNI・UNE ISO 相当品含む

◎テクスチャー/グレイン

■等方性・異方性サーフェス
■凸凹の解析

規格準拠

ISO 25178・ISO 4287・ISO 13565 ・ASME B46.1 ・GB/T・DIN・JIS・NF・BSI・UNI・UNE ISO 相当品含む

◎表面凹凸形状

■CADジオメトリとの直接比較　■曲率、半径、角度
■横方向寸法　■ドリル刃の研究　■切削工具研究

規格準拠

ISO 25178・ISO 4287・ISO 13565-2・ISO 12085 ・ISO 12780・ISO 12181

◎段差高さ/厚さ

■透明な素材をそのまま測定する■透明なフィルムとコーティングの厚みが20nmまで可能　■20nmから25mmまでの段差

規格準拠

ISO 5436-1

◎容積/面積

■差表面と容積損失　■腐食解析　■モチーフ・粒状性解析

規格準拠

ISO 25178・ISO 4287・ISO 13565-2・ISO 12085・ISO 12780 ・ISO 12181

◎平坦度/反り

■平坦さ 1um～500mm (補正なし)

規格準拠

ISO 25178・ISO 4287・ISO 13565-2・ISO 12085・ISO 12780 ・ISO 12181

サンプル例

プリント回路基板

印刷電極

ウェーハアレイ

マイクロSDカード

LEDライト

キーボード

非球面レンズ

太陽電池

カーボンファイバー

紙ヤスリ

ハンダ

発泡スチロール

滑り止めグリップ

単3電池

腐食したネジ

ポリマーベルト

カミソリ

スプレーキャップ

タイヤ

時計ベルト

ホワイトボードイレーザー

ファスナー

絆創膏

ボタン

デニム地

合成皮革

キャンドル

指輪

ゴルフボール

鍵

玩具ブロック

リップクリーム

外科用マスク

テフロン加工フライパン

鉛筆

プラスティック製コップ

プラスティック製ナイフ

ダイキャストミニカー

レコード盤

粉体塗装

木製フローリング

食パン

ミントキャンディー

マシュマロ

クッキー

クルミ

たまご

きゅうり

紙幣

硬貨

甲虫のハネ

アゲハ蝶のハネ

羽毛

指紋

魚鱗

牡蠣

化石

化石

種

種

葉

■レーザーとリアルナノ3Dプロフィロメーターとの比較

レーザー式

反射したレーザー光に注意が必要
スキャン時の不安定波長が測定精度に影響
横方向と高さ精度が選択レンズで固定される
レイヤーごとのデータを測定後ステッチ合算
ステッチングが必要
最大7.9KHzのデータ収集速度

リアルナノ3Dプロフィロメーター

白色光なので体に影響なし
均一で広い範囲の白色光スペクトル
スキャンに対応する横方向および高さ精度の組合せ
表面から反射する物理波長を直接測定
ステッチングなし
最大384KHzのデータ収集速度

アプリケーションノート

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ナノビア社は、世界最高水準の機械特性試験装置を開発・製造するだけではありません。世界各地に展開する自社ラボで実施した、高精度な試験データを世界の産業リーダーに提供しています。
様々な業種から依頼された多様なサンプルを、ナノビア社の製品でテストし、得られた結果をアプリケーションノートでご覧いただけます。