■3次元光学式表面プロファイラー
▶非接触測定
▶最大垂直解像度=1nm
▶最大表面角度＝87°
▶データステッチなし※X-Yステージ移動範囲内
▶歪み・湾曲も実測定
▶どんな色でも測定可
| モデル名 | JR25 | JR50 |
JR100 | PS50 | ST400 | ST500 |
| X-Y軸 可動範囲 | 25 x 25 mm | 50 x 50 mm | 100 x 100 mm | 50 x 50 mm | 200 x 150 mm |
400 x 400 mm |
| Z軸 可動範囲 | 30 mm Manual | 30 mm Manual | 25 mm Manual | 30 mm Manual | 50 mm Manual |
50 mm Manual |
| X-Y軸 最大移動速度 | 20 mm/s | 20 mm/s | 20 mm/s | 20 mm/s | 40 mm/s |
200 mm/s |
| 標準ポイントセンサー | PS1 | PS2 | PS3 | PS4 | PS5 | PS6 |
| 最大測定高さ | 110 μm | 300 μm | 100 x 100 μm | 1.1 mm | 3.5 mm |
10 mm |
| 操作距離 | 3.3 mm | 10.8 mm | 12.2 mm | 16.5 mm | 26.6 mm |
20 mm |
| ステージ位置精度（X-Y） | 0.8 μm | 1.7 μm | 2.6 μm | 4.6 μm | 11.0 μm |
11.0 μm |
| 高速ラインセンサー | LS1 | LS2 | LS3 |
| 最大測定高さ | 200 μm | 0.95 mm | 3.9 mm |
| 操作距離 | 5.3 mm | 18.5 mm | 41 mm |
| 計測ライン幅 | 0.96 mm | 1.91 mm | 4.78 mm |
| 計測ライン幅 | 1 μm | 2 μm | 5 μm |
■原子間力顕微鏡アクセサリー
AFMの3D機能をサブナノメータ領域まで拡大。横方向も含めて1オングストローム単位で表示します。
■ナノ/マイクロインデンター
| モデル名 | CB500 | PB1000 |
| フォースモジュレーションオプション | 1（NANO or MICRO） | 2（NANO or MICRO） |
| X-Y軸 可動範囲 | 100 x 50mm | 200 x 150mm |
| X-Y軸 位置決め精度 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸 モーター制御範囲 | 50mm | 50mm + 140mm 手動スライド |
| モジュール | NANO | MICRO |
| 印加装置 | ピエゾ電圧 | ボールスクリューサーボモーター |
| 負荷センサー | 高精度圧縮ロードセル | 高精度ロードセル |
| フォース範囲 | 80 | 400 | 1800 | 4800mN | 20 | 40 | 200 | 400N |
| フォース解像度 | 0.004 | 0.03 | 0.14 | 0.28μN | 1.2 | 2.4 | 12 | 24μN |
| 変位解像度 | 0.003nm | 0.01 nm |
| 深度センサー | 静電容量リング | 広範囲静電容量センサー |
| 範囲 | 250 | 1500μm | 1 mm w/50mm motor encoder |
| 測定オプション | DMA、CSM | アコースティック・エミッション |
■原子間力顕微鏡アクセサリー
AFMの3D機能をサブナノメータ領域まで拡大。横方向も含めて1オングストローム単位で表示します。
■トライボメーター
空圧式で安定したスピードコントロール
| モデル名 | T50 | T200 |
T2000 |
| 最小/最大 試験負荷 | 100mN - 60N | 50mN – 200N | 0.5N - 2000N |
| 負荷解像度 | 錘 | 空圧式 | 空圧式 |
| 最大摩擦力／解像度 | ±20N | 1μN | ±100N | 15μN | ±1000N | 6μN |
| 深度センサー範囲 / 解像度 | 100μm | 8nm | 2mm | 0.1nm | 100000μm | 1Onm |